我公司针对高真空电阻蒸发镀膜机抄板圆满完成
我公司针对高真空电阻蒸发镀膜机抄板圆满完成,高真空电阻蒸发镀膜机配两对或三对蒸发电极,适用于实验室制备金属单质膜、有机膜、扫描电镜制样等,也可用作教学及生产线前期工艺试验等。基片台采用加热及温控系统(可选),以提高成膜质量。
主要技术指标
真空腔室 玻璃钟罩+底座,300譎
真空系统涡轮分子泵+直联旋片泵,电磁前级阀,“一低一高”数显复合真空计;
真空极限优于2.0×10-4Pa (1.5×10-6Torr);
抽速从大气抽至7×10-3Pa≤15min;
可镀膜尺寸
控制方式手动按钮控制;
报警及保护对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;
占地面积长×宽: 1200×
总功率抽真空状态功率: 700W;蒸发状态功率: ≤3.2KW;
如有抄板需要请与我公司商务中心联系。